等離子清洗機(jī) 晶圓清潔光刻膠去除設(shè)備用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中晶圓的清潔、去膠和等離子體預(yù)處理，去除殘留的光刻膠及其他有機(jī)物，活化和粗化晶圓表面，提高晶圓表面潤(rùn)濕性能

等離子清洗機(jī) 晶圓清潔光刻膠去除設(shè)備應(yīng)用包括預(yù)處理、灰化/光刻膠/聚合物剝離、晶圓凸點(diǎn)、消除靜電、介電質(zhì)刻蝕、有機(jī)污染去除、晶圓減壓等。使用等離子清洗機(jī)去除光刻膠和其他有機(jī)物，而且活化和粗化晶圓表面，提高晶圓表面浸潤(rùn)性

等離子體清洗機(jī)能去除表面油脂、灰塵等污染物，便之達(dá)到超潔凈清洗目的；等離子清洗機(jī)能夠改善材料的潤(rùn)濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂。等離子清洗機(jī)可對(duì)各種材料的表面進(jìn)行有機(jī)物去除、清潔、靜電消除，化學(xué)修飾或涂層沉積。

在LCD顯示屏組裝中，很多工藝都需要等離子體清洗機(jī)的處理技術(shù)配合，如玻璃基材蒸鍍或?yàn)R鍍ITO膜前，由于玻璃表面很臟造成清洗困難，達(dá)不到清洗效果，而等離子體清洗機(jī)能去除表面油脂、灰塵等污染物，便之達(dá)到超潔凈清洗目的；ITO玻璃涂覆光阻前采用等離子體清洗機(jī)處理能有效提高表面浸潤(rùn)性、去除污染物、減少氣泡產(chǎn)品、去除圖形轉(zhuǎn)移后殘留的化學(xué)藥劑。LCD模組粘合工藝中等離子清洗機(jī)去除溢膠等有機(jī)類污染物、偏光片、防指紋膜等貼合前表面清洗和活化。

數(shù)字儀表、收音機(jī)、車載電腦、和筆記本電腦的顯示器往往通過采用熱壓技術(shù)，覆蓋上一層柔性膜或是導(dǎo)電橡膠。這層薄膜構(gòu)成電路板和由兩層薄玻璃板形成的顯示面板之間的柔性連接。在生產(chǎn)過程中，由于指印、氧化物、有機(jī)污染物和各種交叉污染物，會(huì)明顯地影響生產(chǎn)過程中的相關(guān)工藝質(zhì)量，降低薄膜和顯示面板之間的粘合力。等離子清洗機(jī)預(yù)處理工藝去除玻璃表面的有機(jī)污染物和其它雜質(zhì)，提高粘臺(tái)力，從而提升了粘臺(tái)質(zhì)量，降低廢品率。等離子清洗機(jī)同樣適用于采用熱壓焊接和精密焊接的工藝流程。

等離子清洗機(jī)，等離子處理機(jī)在光電及電子行業(yè)的應(yīng)用：

1、等離子清洗機(jī)處理各種玻璃表面，改善玻璃表面的殘留水分，優(yōu)化玻璃鍍膜、印刷、粘接、噴涂等工藝；

2、清潔柔性和非柔性印刷電路板的接觸點(diǎn)，等離子清洗機(jī)清潔發(fā)光二極管熒光燈的“接觸點(diǎn)”，提高表面點(diǎn)膠的牢固性；

3、電子元件、印刷電路板清潔、集成電路和其他表面清潔、增強(qiáng)結(jié)合的活化等。

4、液晶顯示器端子焊接前的等離子清洗；

運(yùn)用等離子體的特殊化學(xué)物理特性，等離子清洗機(jī)plasma改性活化改備的主要用途如下：

1.去除灰塵和油污、去靜電；

2.提高表面浸潤(rùn)功能，形成活化表面；

3.提高表面附著能力、提高表面粘接的可靠性和持久性；

4.刻蝕物的處理作用。

等離子體清洗機(jī)增強(qiáng)表面能、提高粘合度，附著力、提高親水性；材料表面涂層、清洗、蝕刻、活化一臺(tái)等離子清洗機(jī)輕松搞定等離子表面活化機(jī)，有電漿PLASMA等離子清洗機(jī) plasma等離子清洗機(jī)等幾種稱謂，處理設(shè)備廣泛應(yīng)用于刻蝕、脫膠、涂層、灰度、等離子體表面處理。通過表面處理，可以提高材料表面的潤(rùn)濕性，從而提高材料的涂層等性能，增強(qiáng)材料的附著力、粘結(jié)力和去除有機(jī)污染物。

等離子表面活化機(jī)可以處理基本材料在印刷或粘著活化、改性、接枝、粗化或清洗前等功能，

等離子清洗機(jī)提高大多數(shù)物質(zhì)的性能：清潔度、親水性、拒水性、內(nèi)聚性、可伸縮性、潤(rùn)滑性和耐磨性。