干式超聲波清洗技術(shù)是一種高速氣流與超聲波共同作用，對(duì)超精密待清洗件（如半導(dǎo)體器件，玻璃或硅基板等）亞微米級(jí)別的污染物進(jìn)行清洗的新型的超聲波清洗機(jī)之干式清洗技術(shù)。一般包括三大系統(tǒng)：
空氣循環(huán)系統(tǒng)；
清洗件傳送系統(tǒng)；
超聲清洗頭。
空氣循環(huán)系統(tǒng)利用負(fù)壓作用將新空氣不斷吸入并凈化后輸入清洗頭壓力腔，同時(shí)利用離心力將內(nèi)部空氣不斷送出；清洗件傳送系統(tǒng)將待清洗件傳送給超聲波清洗頭。
核心部件超聲波清洗頭主要有兩類：一類空氣流經(jīng)特殊設(shè)計(jì)的變截面流道時(shí)，經(jīng)激流震蕩生成超聲波，但這種超聲波的強(qiáng)度弱，傳遞能量少。另一類內(nèi)置超聲波增幅器，超聲波空氣在大小約 0.3mm 的出口處體積迅速膨脹，達(dá)到一種“微型爆炸”的效果。高速氣流和超聲波的共同作用使污物微粒脫離懸浮，超聲波的反射作用將微粒帶動(dòng)起來(lái)，由清洗頭的真空吸附腔吸走并分離，這種清洗方式杜絕清洗劑對(duì)環(huán)境造成污染。
干式超聲波清洗機(jī)清洗特點(diǎn)：
1、3μm及以上的非濕粘附性粉塵能90-100去除。
2、干式清洗不需要更換換水或藥液，洗后不用干燥，降低運(yùn)行成本。
3、非接觸式系統(tǒng)不會(huì)污染基板及損傷基板表面膜。
4、由於清洗機(jī)是閉環(huán)循環(huán)系統(tǒng)，不會(huì)污染潔凈房。
應(yīng)用領(lǐng)域：
1、在制藥工業(yè)的應(yīng)用
超聲波清洗技術(shù)經(jīng)過(guò)眾多制藥企業(yè)的應(yīng)用而得到廣泛使用，特別是對(duì)西林瓶、口服液瓶、安瓶、大輸液瓶的清洗以及對(duì)丁基膠塞、天然膠塞的清洗方面，已經(jīng)得到首肯。對(duì)于瓶類的清洗，是用超聲波清洗技術(shù)代替原有的毛刷機(jī)，它經(jīng)過(guò)翻轉(zhuǎn)注水、超聲清洗、內(nèi)外沖洗、空氣吹干、翻轉(zhuǎn)等流程而實(shí)現(xiàn)的。
2、在微粉業(yè)的應(yīng)用
*，要取得不同大小的顆粒，是把破碎料放在球磨機(jī)內(nèi)研磨后，經(jīng)過(guò)不同規(guī)格篩子層層篩分而得的。篩子長(zhǎng)時(shí)間使用后，篩孔會(huì)被堵塞(如金剛石篩)，用其它方法刷洗會(huì)破壞篩子，且效果不理想，經(jīng)過(guò)眾多廠家的試驗(yàn)后，用超聲波清洗，不僅不損壞篩子，而且篩子上面的堵塞顆粒*被回收。
3、技術(shù)在磷化處理中的應(yīng)用
產(chǎn)品噴涂前處理工藝非常重要，一般的傳統(tǒng)工藝使用酸液對(duì)工件進(jìn)行處理，對(duì)環(huán)境污染較重，工作環(huán)境較差，同時(shí)，大的弊端是結(jié)構(gòu)復(fù)雜零件酸洗除銹后的殘酸很難沖洗干凈。工件噴涂后，時(shí)間不長(zhǎng)，沿著夾縫出現(xiàn)銹蝕現(xiàn)象，破壞涂層表面，嚴(yán)重影響產(chǎn)品外觀和內(nèi)在質(zhì)量。超聲波清洗技術(shù)應(yīng)用到涂裝前處理后，不僅能使物體表面和縫隙中的污垢迅速剝落，而且涂裝件噴涂層牢固不會(huì)返銹。
4、干式超聲波清洗機(jī)對(duì)金屬的清洗
*，金屬棒材經(jīng)擠壓成絲后，金屬絲的外部往往有一層碳化膜和油，用酸清洗或其它清洗方法，很難讓污物去除(尤其整盤絲)，超聲波洗絲機(jī)是根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)需要而設(shè)計(jì)的一種連續(xù)走絲，高效清洗設(shè)備，粗洗部分由清洗液儲(chǔ)槽、換能器、循環(huán)泵、過(guò)濾器及配套管道系統(tǒng)組成，金屬絲經(jīng)超聲波粗洗精洗后，再經(jīng)過(guò)吹干，從而完成整個(gè)清洗過(guò)程。整套設(shè)備集成控制，簡(jiǎn)潔、方便、效果好，廣泛用于鉭絲、鎢絲、鉬絲、鈮絲、銅絲(絕緣漆涂覆前)等其它金屬絲。
