半導(dǎo)體氨氣干燥機(jī)氨氣在常溫常壓下為具有特殊刺激性惡臭的無色有毒的氣體，比空氣輕。氨在常溫下穩(wěn)定，但是在高溫分解成氫和氮。一般在一個大氣壓下450~500℃時容易分解成氫氮混合氣。在空氣中可燃，但一般難以著火，如果連續(xù)接觸火源就燃燒，有時也能引起爆炸。氨呈堿性，具有強(qiáng)腐蝕性。氨氣用途廣泛包括氮肥、銨鹽硝酸、尿素丙烯酰胺、氫氰酸、無機(jī)試劑、藥品、染料、金屬表面氮化、制冷劑、半導(dǎo)體用氣體、氧化、氮化膜、化學(xué)氣相淀積、標(biāo)準(zhǔn)氣等。

目前工業(yè)制取液氨的方式主要是利用氫和氮在高溫高壓時在催化劑的作用下合成得到的。其粗氣中的組成雜質(zhì)主要含有微量硫、水份、一氧化碳、氮?dú)狻⒀鯕?、鐵雜質(zhì)及其它機(jī)械雜質(zhì)和油等雜質(zhì)。液氨中含有硫可通過脫硫裝置脫除，含有的油份可通過活性碳吸附，含有的機(jī)械雜質(zhì)可通過精密過濾裝置過濾，氨中含有的雜質(zhì)氣體可以通過萃取精餾工藝解決。氨中的水份在氨氣的雜質(zhì)中占有的比重較大，在實(shí)際應(yīng)用解決過程中遇到的問題也較多，特別是氨氣終的脫水深度及脫水過程中產(chǎn)品氣露點(diǎn)穩(wěn)定性是整個工藝脫水過程中克服的難點(diǎn)。隨著電子工業(yè)的發(fā)展，對NH3純度要求及雜質(zhì)含量要求*。鑒于高純氨氣良好的應(yīng)用前景，進(jìn)一步開展NH3純度的技術(shù)研究，提高產(chǎn)品氣的純度是十分必要的。

二、半導(dǎo)體氨氣干燥機(jī)氨氣中雜質(zhì)氣組成及其物化性質(zhì)

1.1氨氣中雜質(zhì)組成

【產(chǎn)品名稱】液體無水氨（液氨）

【產(chǎn)品簡介】液氨分子式：NH3 分子量：17.03 國家標(biāo)準(zhǔn)：GB536-88

【質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)】

料液氨指標(biāo)

                    優(yōu)等品        一等品        合格品

氨含量％    ≥        99.9          99.8         99.6

殘留物含量％≤        0.1(重量法)    0.2           0.4

水份％      ≤        0.1        —        —

油含量，mg/kg≤        5（重量法）        —        —

2（紅外光譜法）        —       

鐵含量，mg/kg≤        1        —        —

.2氨氣的產(chǎn)品指標(biāo)

國家標(biāo)準(zhǔn)：GBT-14601-93

項(xiàng)   目        指  標(biāo)

氨純度，10-2（體積分?jǐn)?shù)）              ≥        99.999

氧含量，10-6（體積分?jǐn)?shù)）              ＜               2

氮含量，10-6（體積分?jǐn)?shù)）              ＜               5

一氧化碳含量，10-6（體積分?jǐn)?shù)）         ＜               1

烴含量(C1~C3), 10-6（體積分?jǐn)?shù)）         ＜               1

水份含量, 10-6（體積分?jǐn)?shù)）             ＜               3

總雜質(zhì)含量, 10-6（體積分?jǐn)?shù)）           ≤               10

三、.NH3脫水干燥純化工藝研究

NH3脫水干燥工藝原理:

氨氣中水份的脫除主要采用的是選擇吸附的原理,選擇吸附是利用固體吸附劑對氣體中各級分的吸附能力不同,達(dá)到分離或純化氣體的目的。一切固體物質(zhì)表面都有一種不飽和力場，其作用范圍相當(dāng)于分子直徑大小。因此對于接觸固體物質(zhì)的表面的氣體分子具有一定的吸附作用。只有多孔物質(zhì)具有很大的內(nèi)表面積，才有明顯的吸附效應(yīng)。對于氨氣中水份的吸附主要采用物理吸附的方式，物理吸附時，吸附劑和吸附質(zhì)之間同時存在吸附和解吸的作用。在一定的溫度下，解吸速度等于吸附速度時，達(dá)到吸附平衡。