EA6000VX能量色散型X射線熒光分析儀儀器簡(jiǎn)介:
通過(guò)位置精度較高的自動(dòng)樣品臺(tái)和高靈敏度性能,可以對(duì)微小異物進(jìn)行快速掃描和檢查,也可對(duì)電子基板等復(fù)合材料制品的微小特定部位實(shí)施定點(diǎn)精確測(cè)量。
EA6000VX能量色散型X射線熒光分析儀型號(hào)名稱:EA6000VX
X射線源:50kV、1mA、空冷式
檢測(cè)器:半導(dǎo)體檢測(cè)器(無(wú)需液氮)
一次濾波器:6種模式自動(dòng)切換
準(zhǔn)直器:0.2、0.5、1.2、3mm 自動(dòng)切換
樣品室大小:W580mm×D450mm×H150mm
可全面測(cè)量250mm×200mm樣品
特點(diǎn):
1.快速掃描
憑借zui大150萬(wàn)CPS的高計(jì)數(shù)率檢測(cè)器完成高靈敏度的測(cè)量,以及借助zui大250 mm×200 mm范圍掃描的快速電動(dòng)樣品臺(tái),實(shí)現(xiàn)快速掃描測(cè)量。對(duì)于范圍為100 mm×100 mm的情況,可在2~3分鐘內(nèi)檢測(cè)出端子部分的鉛并確定其位置。
2.連續(xù)多點(diǎn)測(cè)量
zui多可500個(gè)測(cè)量位置進(jìn)行連續(xù)多點(diǎn)測(cè)量。由于采用自動(dòng)測(cè)量方式,因此在測(cè)量大量樣品是,也可發(fā)揮高效率。
3.高精密重合
通過(guò)Telecentric Lens 系統(tǒng)和高速?高精度XY平臺(tái),將元素掃描像和光學(xué)成像進(jìn)行重合對(duì)微小部品的中心部分的目標(biāo)元素也能進(jìn)行簡(jiǎn)單觀察。zui大250 mm×200 mm上方觀察,并且能夠?qū)崿F(xiàn)廣域位置zui小誤差為100 μm以內(nèi)的精確定位。
4.微小部位測(cè)量
在FT系列中被*的測(cè)量鍍膜膜厚儀器就是由EA6000VX。不用說(shuō)極薄的鍍金等膜厚測(cè)量,即便是在進(jìn)行鍍膜鐘所含的Pb等有害物質(zhì)分析的膜壓測(cè)量的同時(shí)也可進(jìn)行膜厚測(cè)量。比如也可進(jìn)行無(wú)鉛焊錫鍍層及引線框架上Sn鍍層,無(wú)電解Ni鍍膜中所含的有害物質(zhì)的濃度測(cè)量。