NANO-MASTER 等離子清洗和灰化系統(tǒng)是專門設(shè)計(jì)用來滿足晶圓批處理或者單晶片處理的廣泛應(yīng)用，從晶圓的光刻膠剝離到表面改性都涉及到。該系列的設(shè)備采用PC控制，微波等離子清洗機(jī)可以配套不同的等離子源，加熱或不加熱基片夾具,具有*的能力:可以從PE等離子刻蝕切換到RIE刻蝕模式,也就是說可以支持各向同性和各向異性的各種應(yīng)用。
儀器的選配：
- 真空泵 ： 真空泵組，如，抽吸能力大250m3/h
- 氣路：額外的數(shù)字顯示質(zhì)量流量控制器（可支持到4路）
- 旋轉(zhuǎn)臺：鋁，直徑350mm,速度可調(diào)
- ECR(電子回旋共振)：鋁、支架配置永磁體
NPC-4000微波等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：
- 緊湊型立式系統(tǒng)
- 自動上下載片
- 帶Load Lock
- 不銹鋼、鋁制腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔
- 兼容100級超凈間使用
- 淋浴頭、ICP或微波等離子源
- 旋轉(zhuǎn)樣品臺
- RF偏壓可PID控制加熱到300 °C或冷卻的樣品臺
- 全自動或手動RF調(diào)諧
- zui多可支持8個(gè)MFC帶電拋光的氣體管路
- PC計(jì)算機(jī)控制的氣動閥
- 帶密碼保護(hù)的多級訪問控制
- 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動控制
- 機(jī)械泵的壓力可達(dá)到10mTorr
- 250 l/s的渦輪分子泵
- 極限真空為5x10-7Torr
- 完整的安全聯(lián)鎖
