進(jìn)口冷凝泵,德國(guó)巴赫進(jìn)口水泵(BACH)

進(jìn)口冷凝泵產(chǎn)品概述：

Summary of Imported Condensation Pump Products:

泵有臥式、單級(jí)或多級(jí)、懸臂式及帶誘導(dǎo)輪等多種結(jié)構(gòu)形式。主要由泵體、泵蓋、葉輪、軸、軸套和支承部分構(gòu)成。泵為臥式懸臂單級(jí)冷凝泵；泵為臥式懸臂兩級(jí)冷凝泵；是臥式懸臂帶誘導(dǎo)輪單級(jí)冷凝泵。軸承采用懸臂式托架裝有兩個(gè)滾動(dòng)向心球軸承支承。可承受未被平衡的軸向力，采用稀油潤(rùn)滑。泵是單級(jí)單吸懸臂式離心泵，主要由進(jìn)水口、泵體、葉輪、軸和軸套等零件組成。伸出端由一個(gè)滑動(dòng)軸承和一對(duì)滾動(dòng)軸承支承，滾動(dòng)軸承用油脂潤(rùn)滑。
泵的軸封采用軟填料密封或機(jī)械密封。

泵的傳動(dòng)通過(guò)彈性聯(lián)軸器由電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)，從電機(jī)方向看，泵均為逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)

進(jìn)口冷凝泵特點(diǎn)：

Imported condensation pump features:

進(jìn)口低溫泵(冷凝泵)是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵(冷凝泵)是獲得清潔真空的極限壓力低、抽氣速率大的真空泵，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。

進(jìn)口冷凝泵特征：

Imported condensation pump characteristics:

利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率大、極限壓力低的清潔真空，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置。

在低溫泵內(nèi)設(shè)有由液氦或制冷機(jī)冷卻到極低溫度的冷板。它使氣體凝結(jié)，并保持凝結(jié)物的蒸汽壓力低于泵的極限壓力，從而達(dá)到抽氣作用。低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集。①低溫冷凝：氣體分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的氣體層上，其平衡壓力基本上等于冷凝物的蒸氣壓。抽空氣時(shí)，冷板溫度必須低于 25K；抽氫時(shí)，冷板溫度更低。低溫冷凝抽氣冷凝層厚度可達(dá)10毫米左右。②低溫吸附：氣體分子以一個(gè)單分子層厚 (  厘米數(shù)量級(jí))被吸附到涂在冷板上的吸附劑表面上。吸附的平衡壓力比相同溫度下的蒸氣壓力低得多。如在 20K時(shí)氫的蒸氣壓力等于大氣壓力，用 20K的活性炭吸氫時(shí)吸附平衡壓力則低于  帕。這樣就可能在較高溫度下通過(guò)低溫吸附來(lái)進(jìn)行抽氣。③低溫捕集：在抽氣溫度下不能冷凝的氣體分子，被不斷增長(zhǎng)的可冷凝氣體層埋葬和吸附。

一般說(shuō)來(lái)，泵的極限壓力就是冷板溫度下的被冷凝氣體的蒸氣壓力。溫度為120K時(shí)，水的蒸氣壓已低于 帕。溫度為20K時(shí)，除氦、氖和氫外，其他氣體的蒸氣壓也低于 帕。但由于被抽容器和低溫冷板的溫度不同，泵的極限壓力高于冷凝物的蒸氣壓。對(duì)于室溫下的容器，低溫板為20K時(shí)，泵的極限壓力約為冷凝物蒸氣壓力的4倍。

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