First-Nano System GmbH
2003年 創(chuàng)立于德國德累斯頓工業(yè)大學(xué)（Dresden University of Technology）
2008年 香港成立德國韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司
2015年 上海成立德國韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司中國代表處，負(fù)責(zé)中國區(qū)業(yè)務(wù)
2018年 深圳正式成立韋氏納米系統(tǒng)（深圳）有限公司，更好的為中國南方區(qū)市場
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產(chǎn)品范圍：
薄膜沉積/Thin Film Deposition
E-Beam and Thermal Evaporation, PECVD, PLD, DLC, DC & RF Sputtering, Ion Beam Sputtering
刻蝕/Etching
RIE, DRIE, ICP, Ion Beam Milling, RIBE, Plasma, ALE
薄膜制程/Growth
ALD, PA-MOCVD, CNT, Graphene
表面處理/Surface Treatment
Ion Beam, PIII, Plasma Cleaner, RTP
清洗/Cleaning
- Dry: Ion Beam, Plasma Cleaner
- Wet: Megasonic, 杜邦EKC清洗液
譜反射儀（SR）系列是一款相對較低成本和操作簡單的工具。
SR 系列特征：
簡單易操作
系統(tǒng)性能基于*的光學(xué)設(shè)計
基于陣列的探測器系統(tǒng)保證快速測量
測量薄膜厚度和折射率可達(dá)5層
允許在毫秒內(nèi)獲得反射、透射和吸收光譜
可用于實時或在線厚度，折射率的監(jiān)測
系統(tǒng)具有全面的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫
*的TFprobe軟件允許用戶使用NK表、分散或有效介質(zhì)近似（EMA）每個單獨的膜。
可升級到MSP（顯微分光光度計）系統(tǒng)，SRM映射系統(tǒng)，多通道系統(tǒng)，大點的·直接測量圖案或功能結(jié)構(gòu)
適用于多種不同厚度的基材
各種附件可用于特殊配置，如運行曲線測量曲面
2D和3D輸出圖形和用戶友好的數(shù)據(jù)管理接口
光譜反射儀型號：
| SR100 | SR300 | SR500 |
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