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產(chǎn)品|公司|采購|招標(biāo)

廣電計量檢測集團(tuán)股份有限公司

橢偏儀

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱韋氏納米系統(tǒng)(深圳)有限公司
  • 品       牌其他品牌
  • 型       號SE系列
  • 所  在  地深圳市
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 更新時間2018/10/22 15:14:59
  • 訪問次數(shù)849
產(chǎn)品標(biāo)簽:

橢偏儀

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First-Nano System GmbH 

  • 2003年          創(chuàng)立于德國德累斯頓工業(yè)大學(xué)(Dresden University of Technology)

  • 2008年          香港成立德國韋氏納米系統(tǒng)(香港)有限公司   

  • 2015年          上海成立德國韋氏納米系統(tǒng)(香港)有限公司中國代表處,負(fù)責(zé)中國區(qū)業(yè)務(wù)

  • 2018年          深圳正式成立韋氏納米系統(tǒng)(深圳)有限公司,更好的為中國南方區(qū)市場

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產(chǎn)品范圍:

薄膜沉積/Thin Film Deposition 
E-Beam and Thermal Evaporation, PECVD, PLD, DLC, DC & RF Sputtering, Ion Beam Sputtering
刻蝕/Etching
RIE, DRIE, ICP, Ion Beam Milling, RIBE, Plasma, ALE
薄膜制程/Growth
ALD, PA-MOCVD, CNT, Graphene
表面處理/Surface Treatment
Ion Beam, PIII, Plasma Cleaner, RTP
清洗/Cleaning
- Dry: Ion Beam, Plasma Cleaner
- Wet: Megasonic, 杜邦EKC清洗液

 

光學(xué)透鏡和儀器,實驗室器具,專用儀器儀表,電化學(xué)設(shè)備和部件
橢偏儀是一種利用偏振態(tài)的變化 后光束探測樣品反應(yīng)技術(shù)。不像反射儀,橢偏儀參數(shù)(PSI和Del)是在非正常的入射角得到。改變?nèi)肷浣恰?梢缘玫礁嗟臄?shù)據(jù)集,這將有助于精煉模型,減少不確定性和提高用戶的數(shù)據(jù)信心。因此,可變角度橢偏儀比固定角度的橢偏儀系統(tǒng)具有更強(qiáng)大的功能 。目前有兩種方法改變?nèi)肷浣?,手動或自動模式?
橢偏儀 產(chǎn)品信息

Ansgtrom Sun公司設(shè)計角度調(diào)整模型,通過5度間隔后精確預(yù)置槽移動手臂手動調(diào)節(jié)角度和電動精密測角0.01度分辨率兩種模型。此外,測角垂直布局設(shè)計,樣品可以水平放置,這是更安全的處理樣品時??煽康暮妥銐虻脑紨?shù)據(jù)集,更多膜的性能參數(shù),如薄膜或涂層 厚度,光學(xué)常數(shù)(折射率n,消光系數(shù)k指數(shù))、接口、孔隙度甚至成分可以通過建模。在這個意義上,*的軟件是一個必須為高性能光譜橢偏儀(SE)工具。我們開發(fā)了TFprobe 3 x版軟件的系統(tǒng)設(shè)置。仿真,測量,分析,數(shù)據(jù)管理和2D / 3D圖形演示的一體機(jī)。  此外,SE200工具覆蓋了很寬的波長范圍內(nèi),從深紫外線(DUV)在可見光到近紅外(250~1100nm),標(biāo)準(zhǔn)配置。DUV范圍適合衡量超薄膜,如納米厚度范圍。一個例子是在硅晶片上的原生氧化層,這是典型的2nm厚。深紫外光譜橢偏儀也是*的,用戶需要測量多種材料的帶隙。

關(guān)鍵詞:橢偏儀
15168338725
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