SRS斯坦福PPR系列過程監(jiān)測系統(tǒng) SRS斯坦福PPR系列過程監(jiān)測系統(tǒng)PPR過程監(jiān)控系統(tǒng)是為內(nèi)聯(lián)過程監(jiān)控和診斷而設(shè)計(jì)的。為殘余氣體分析儀(RGA)提供了兩條路徑:用于監(jiān)測基本真空的高導(dǎo)電性路徑,以及在工作壓力下監(jiān)測過程的減壓路徑。減壓路徑包含一個(gè)微型孔口,它被設(shè)計(jì)為在下列壓力之一下運(yùn)行:0.01、0.1、1或10 Torr。它將樣本壓力降低到RGA的工作壓力(大約10-6 Torr)。這種壓力下降是由一個(gè)混合渦輪泵和一個(gè)隔膜泵組成的抽油系統(tǒng)來維持的。這兩個(gè)泵都是無油的,不會污染你的過程。連接到你的過程室的進(jìn)口總成可以通過多種方式配置(見圖)。該系統(tǒng)包括一個(gè)RGA、旁路閥總成和Tee、一個(gè)控制器、渦輪泵、隔膜泵和用于數(shù)據(jù)采集和控制的Windows軟件程序。該軟件用于各種模式的操作,包括模擬掃描、直方圖模式、壓力與時(shí)間模式。法拉第杯和電子倍增探測器都是PPR系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)。電子倍增器提供額外的靈敏度和更高的掃描速度。PPR系統(tǒng)被*組裝和校準(zhǔn),并準(zhǔn)備好連接到你的真空處理室。
瑞軒電子科技(上海)有限公司-------國內(nèi)*儀器儀表供應(yīng)商
是全國儀器儀表行業(yè)“產(chǎn)品研發(fā)、銷售、技術(shù)培訓(xùn)、設(shè)備維修”為一體供應(yīng)商
公司主要經(jīng)營:
一、傳感與測量儀器 (GE druck, GE Panametrics,GE Bently,Wika,HBM,Tektronix,BEAMEX,SIKA,E E等進(jìn)口品牌)
二、氣體檢測儀(美國華瑞RAE,梅思安MSA,德爾格Draeger等進(jìn)口品牌)
三、實(shí)驗(yàn)室儀器(德國IKA,美國奧豪斯,上海一恒,中科中佳,上海安亭,湖南湘儀等品牌)
四、水質(zhì)檢測儀(美國哈希hach,安捷倫等品牌)
五、氣動液壓元件(派克Parker,阿托斯Atos,力士樂Rexroth,哈威Hawe等品牌)
六、無損檢測儀(德國KK,日本新寶,中國臺灣泰仕,德國卡爾德意志等品牌)
七、代采購歐洲、美國等國外的高精密編碼器、傳感器、安全柵、泵閥、氣動液壓配件、儀器儀表以及各類自動化產(chǎn)品,并被廣泛應(yīng)用于汽車、機(jī)械、鋼鐵、冶金、能源、石化、礦山、港口、軌道交通等眾多行業(yè)的國家重點(diǎn)企業(yè)。
3 10-5 torr/s流量
2秒響應(yīng)時(shí)間(0.1 Torr)
100、200或300個(gè)amu系統(tǒng)
6個(gè)數(shù)量級的動態(tài)范圍
RGA Windows軟件
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