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氣相成底膜烤箱,HMDS蒸氣淀積系統(tǒng) 真空烘箱

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  • 公司名稱上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司
  • 品       牌雋思
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2022/12/1 9:33:01
  • 訪問(wèn)次數(shù)2302
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上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司(以下簡(jiǎn)稱“雋思儀器”)是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導(dǎo)體工藝設(shè)備、環(huán)境模擬儀器設(shè)備、線纜試驗(yàn)機(jī)、橡塑試驗(yàn)檢測(cè)設(shè)備、黑蒜設(shè)備等的高新技術(shù)型企業(yè),具有很強(qiáng)的自主開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè),建筑,節(jié)能等行業(yè);多年來(lái),公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨,為國(guó)內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏得了國(guó)內(nèi)外客戶的*好評(píng),更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業(yè)務(wù)有HMDS預(yù)處理系統(tǒng),HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級(jí)潔凈烘箱,氮?dú)夂嫦?,高溫?zé)o氧烘箱,真空無(wú)氧烘箱,無(wú)塵無(wú)氧化烘箱,抗粘劑涂膠機(jī),精密恒溫加熱臺(tái),快速高低溫氣流儀,超低溫試驗(yàn)箱,高低溫試驗(yàn)箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測(cè)儀,黑蒜發(fā)酵設(shè)備,導(dǎo)體直流電阻測(cè)試儀,電線電纜檢測(cè)儀器,真空烘箱,黑蒜試驗(yàn)機(jī),橡塑檢測(cè)試驗(yàn)機(jī)等。
    不斷追求技術(shù)進(jìn)步、提升專業(yè)服務(wù)能力,做一個(gè)專業(yè)的儀器設(shè)備供應(yīng)商是我們的發(fā)展目標(biāo)。企業(yè)內(nèi)部實(shí)施了CRM、ERP項(xiàng)目管理,在產(chǎn)品開(kāi)發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應(yīng)鏈、人力資源管理、財(cái)務(wù)管理等諸多方面取得了長(zhǎng)足發(fā)展。同時(shí)建立了標(biāo)準(zhǔn)化的服務(wù)流程,形成了覆蓋全國(guó)的快速服務(wù)網(wǎng)絡(luò),以盡心盡責(zé)的服務(wù)理念和完備的技術(shù)得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機(jī)會(huì),以飽滿的熱情、真誠(chéng)的服務(wù)與您共創(chuàng)燦爛的未來(lái)!





HMDS烘箱,百級(jí)潔凈烘箱,氮?dú)夂嫦?,高溫?zé)o氧烘箱,PI烤箱,真空無(wú)氧烘箱,無(wú)塵無(wú)氧化烘箱,抗粘劑涂膠機(jī),精密恒溫加熱臺(tái),超低溫試驗(yàn)箱
功率 3kw 設(shè)備重量 400kg
溫度波動(dòng)度 1℃ 溫度范圍 250℃
額定溫度 常溫烘箱(100-250℃) 工作電壓 220v
工作室尺寸 450mm 供貨周期 15天
加工定制 送風(fēng)方式 其他
外形 立式 外形尺寸 1690mm
用途 工業(yè)烘箱 真空度 133pa
氣相成底膜烤箱,HMDS蒸氣淀積系統(tǒng)用于除去硅片表面的污染物(顆粒、有機(jī)物、工藝殘余、可動(dòng)離子),除去水蒸氣,使基底表面由親水性變?yōu)樵魉?,增?qiáng)表面的黏附性(HMDS-六甲基二硅胺烷)。
氣相成底膜烤箱,HMDS蒸氣淀積系統(tǒng) 真空烘箱 產(chǎn)品信息

氣相成底膜烤箱,HMDS蒸氣淀積系統(tǒng)的用途:

用于除去硅片表面的污染物(顆粒、有機(jī)物、工藝殘余、可動(dòng)離子),除去水蒸氣,使基底表面由親水性變?yōu)樵魉?,增?qiáng)表面的黏附性(HMDS-六甲基二硅胺烷)。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料

氣相成底膜烤箱,HMDS蒸氣淀積系統(tǒng)的原理:

1.脫水烘烤,硅片表面極容易受潮,所以在成底膜和涂光刻膠之前必須進(jìn)行脫水烘烤處理;一般在溫度設(shè)定在150-200℃之間,在真空+充氮的氣氛中處理效果更好。

2.HMDS蒸鍍,在系統(tǒng)真空狀態(tài)下,將HMDS藥液吸入系統(tǒng)內(nèi)并*霧化,霧化后的HMDS將均勻的涂布在硅片的表面。

3.堅(jiān)膜烘烤,HMDS涂布完成后,在系統(tǒng)內(nèi)保持一定的時(shí)間,使得HMDS鍍膜更加有效。

4.尾氣排放,HMDS鍍膜完成后排出剩余的氣體,HMDS尾氣處理。

5.涂膠,將完成HMDS成底膜的硅片取出,進(jìn)入下一步涂膠工藝。

氣相成底膜烤箱技術(shù)參數(shù):

1、工作室尺寸:350×350×350(mm)

2、材質(zhì):外箱采用304不銹鋼,內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級(jí)不銹鋼

3 、溫度范圍:RT+10-250℃

4 、溫度分辨率: 0.1℃

5、 溫度波動(dòng)度:≤±0.5

6、真空度:≤133pa(1torr)

7 、潔凈度:class 100,設(shè)備采用無(wú)塵材料,適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境

8、電源及總功率:AC 220V±10% / 50HZ       功率約2.5KW    

9 、控制儀表:人機(jī)界面

10、HMDS控制:可控制HMDS藥夜添加量

11、真空泵:旋片式油泵(或進(jìn)口無(wú)油泵)

12、 保護(hù)裝置:超溫保護(hù),漏電保護(hù),泄露保護(hù),安全保護(hù)等

 

 

關(guān)鍵詞:人機(jī)界面 真空泵
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