IN USA系列是Teledyne API的一個品牌,OG-5000系列臭氧發(fā)生器設計用于生產(chǎn)超潔凈,高純度和高濃度的臭氧氣體,非常適合各種半導體工藝應用。
水冷式臭氧發(fā)生器通過在高強度電場中激發(fā)分子氧來產(chǎn)生臭氧氣體,這是通過在兩個電極之間施加交流電壓而建立的。為了獲得高強度的電場,兩個電極表面放置在非常緊密的機械接近位置。當跨越間隙整合的場的強度大于填充間隙的氧的擊穿電壓時,發(fā)生放電并產(chǎn)生臭氧。添加ppm級別的“摻雜”或“摻加”氣體(如氮氣)可大限度地提高臭氧輸出量,并確保隨著時間的推移高度穩(wěn)定地產(chǎn)生臭氧。
OG-5000臭氧發(fā)生器系列中的高純度潤濕材料結合了創(chuàng)新的電池設計,*的密封技術和*的控制器,確保生產(chǎn)高純度和高濃度臭氧氣體,以滿足所有苛刻要求在半導體行業(yè)的應用。
水冷式臭氧發(fā)生器產(chǎn)品特性
◆ 高純度臭氧
◆ 非常高的臭氧濃度
◆ 比其他工藝氣體更環(huán)保
◆ 低采購成本
◆ 無耗材
◆ 緊湊和模塊化
◆ 經(jīng)過驗證的技術
技術規(guī)格
◆ 大臭氧產(chǎn)量:OG-5000-A 210g/Hr
OG-5000-B 150g/Hr
◆ 遠程控制: 通過前面板或自動遠程控制
通過SCI控制器遠程關閉或伺服控制
原料氣
◆ 氧氣等級:6個9或更高,
◆ 氮級:5個9或更高(僅0.5%)
◆ 進料氣體流速:0.5-20slpm
運行條件
◆ 臭氧出口壓力:15至40 psig(通常設定為30 psig)
◆ 工作環(huán)境溫度:5-35攝氏度
◆ 冷卻水溫度:18攝氏度+- 3攝氏度(不要低于當?shù)芈饵c)
◆ 冷卻水流量:1 to 1.2 gpm at 60 psig
◆ 冷卻水質(zhì)量:任何晶圓廠級別(去離子水)
◆ 電源(VAC):208/240 VAC單相或三相
◆ 頻率:50或60Hz
◆ 電流:15 amps Breaker 10 Amps RMS
物理規(guī)格
◆ 尺寸(寬x高x深):19“x 10.5”18“(48厘米x27厘米x45厘米)
◆ 重量:82磅 (27公斤)