堅膜無塵烤箱，半導(dǎo)體無塵烘箱概述
無塵烤箱?用于高精度硅上薄膜電阻制造過程中堅膜工藝。也用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。
?堅膜無塵烤箱特點
1、 烤箱用于半導(dǎo)體車間100級生產(chǎn)線；
2、 設(shè)備能夠?qū)崿F(xiàn)對CASETTE內(nèi)硅片烘烤工藝；
3、 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
4、 開機后墻體內(nèi)一直處于恒溫狀態(tài)；
5、 強制送風(fēng)循環(huán)方式，雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到高精度溫度控制；
?6、操做人員放入產(chǎn)品后關(guān)門，點擊開始按鈕即可一鍵完成菜單工藝，完成后伴有聲光提示。
堅膜無塵烤箱，半導(dǎo)體無塵烘箱技術(shù)參數(shù)
1、 無塵等級：Class 100;
2、 溫度均勻度：±2℃;
3、 溫度波動度：±0.5℃（空載）；
4、 溫控精度：±0.1℃;
5、 溫度范圍：RT+10-200/300℃;
?6、 升溫速率：?≥8?℃/min（可修改）?；
?7、 內(nèi)腔材質(zhì)：SUS304＃鏡面不銹鋼；
?8、 外箱材質(zhì)：優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑或SUS304＃不銹鋼；?
?9、 密封條：耐高溫氟橡膠密封條；
?10、氮氣裝置：可調(diào)式浮子流量計；
?11、安全裝置：漏電保護，超溫保護，三色提示燈等。
上海雋思實驗儀器有限公司（以下簡稱“雋思儀器”）是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導(dǎo)體工藝設(shè)備、環(huán)境模擬儀器設(shè)備、線纜試驗機、橡塑試驗檢測設(shè)備、黑蒜設(shè)備等的高新技術(shù)型企業(yè)，具有很強的自主開發(fā)、設(shè)計能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè)，建筑，節(jié)能等行業(yè)；多年來，公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨，為國內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏得了國內(nèi)外客戶的*好評，更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精，更完善！
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| 工作電壓 | 380v | 工作室尺寸 | 600*700*800mm |
|---|---|---|---|
| 功率 | 6kw | 設(shè)備重量 | 200kg |
| 外形尺寸 | 1350mm | 溫度范圍 | 300℃ |
| 材質(zhì) | 不銹鋼 | 供貨周期 | 15天 |
| 加工定制 | 是 | 溫度波動度 | 1℃ |
堅膜無塵烤箱，半導(dǎo)體無塵烘箱 工業(yè)烘箱 產(chǎn)品信息
關(guān)鍵詞：浮子流量計
