化學(xué)氣相沉積石墨化一體爐
化學(xué)氣相沉積石墨化一體爐特點(diǎn)：
采用多功能高溫設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)化學(xué)氣相沉積和石墨化處理一次性完成。
使用溫度高達(dá)2600，并可長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定可靠運(yùn)行。
采用熱電偶和紅外測(cè)溫儀組合的測(cè)溫自動(dòng)轉(zhuǎn)換系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)全溫度段的顯示和控制。
采用IGBT為主功率器件的感應(yīng)加熱變頻控制系統(tǒng)，使得設(shè)備節(jié)能省電，諧波分量小，對(duì)外部設(shè)備無(wú)干擾。
進(jìn)出氣體的精確流量顯示和控制，保證了產(chǎn)品的穩(wěn)定性。
采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；
采用多通道沉積氣路，流場(chǎng)均勻，無(wú)沉積死角，沉積效果好；
特制的過(guò)濾系統(tǒng)，對(duì)炭沉積過(guò)程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機(jī)氣體等能進(jìn)行有效處理；
技術(shù)參數(shù)：
參數(shù) 型號(hào) | HYSJL-3040 | HYSJL-4050 | HYSJL-5060 | HYSJL-6080 | HYSJL-8080 | ||||||||||
工作區(qū)尺寸DXH（mm) | Ф300X 400 | Ф400X 500 | Ф500X 600 | Ф600X 800 | Ф800X 800 | ||||||||||
工作溫度（℃） | 1500 | 2600 | 1500 | 2600 | 1500 | 2600 | 1500 | 2600 | 1500 | 2600 | |||||
溫度均勻性（℃） | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ||||||||||
工作電壓(V) | 三相380 | ||||||||||||||
額定功率（KW) | 40 | 80 | 60 | 150 | 80 | 160 | 90 | 200 | 160 | 350 | |||||
工作氣氛 | 真空/氬氣/氮?dú)?氫氣/炳烷/石油天然氣 | ||||||||||||||
以上化學(xué)氣相沉積爐技術(shù)參數(shù)可根據(jù)工藝參數(shù)進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)?？蓪⒒瘜W(xué)氣相沉積和高溫石墨化兩種功能分開(kāi)，單獨(dú)做成化學(xué)氣相沉積爐和高溫石墨化爐。 | |||||||||||||||
