半導(dǎo)體百級潔凈烘箱,芯片百級烤箱概述
半導(dǎo)體百級潔凈烘箱,芯片百級烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
特點
Ø 在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100;
Ø 全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機臺本身所產(chǎn)生微塵;
Ø 采用單面水平由后向前送風熱風循環(huán)系統(tǒng),風源由循環(huán)馬達運轉(zhuǎn)帶動風輪經(jīng)電熱器,將熱風由風道送至烤箱內(nèi)部,且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱,省電節(jié)能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class 100;
參數(shù)
Ø 進風口:φ6mmN2進氣、流量計控制;
Ø 排風口: φ3”排風管(外接φ5"法蘭);
Ø 電源:480v , 50Hz,15KW ,電源供應(yīng)器為UL/FM/CE或3C認證,并有過
Ø 電流保護裝置;
Ø 網(wǎng)板:5層,2mmt不銹鋼版加工四周內(nèi)向折成10mm的圓孔承托盤 , 單層
Ø 層載重量可需承重50kg;
Ø 潔凈度:100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風水平層對流循環(huán)方式實
Ø 現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。
溫度控制器
Ø 彩色觸摸屏控制器TEMI360
a) 控制器:彩色觸摸屏;
b) 顯示器:3.5英寸TFT彩色LCD顯示器;
c) 輸出方式:PID控制輸出;
d) 運行方式:程序方式、定值方式;
e) 設(shè)定方式:中/英文菜單,觸摸屏方式輸入;