硅片百級潔凈烤箱,高溫潔凈烘箱概述
硅片百級潔凈烤箱,高溫潔凈烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
特點
Ø 在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100;
Ø 全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機(jī)臺本身所產(chǎn)生微塵;
Ø 采用單面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器,將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部,且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱,省電節(jié)能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class 100;
Ø 強制送風(fēng)循環(huán)方式,雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到所需控制精度。
溫度記錄儀
a) 寬視角高分辨TFT彩色液晶屏
b) 六通道、無紙記錄方式
c) 曲線、數(shù)字、棒圖、總覽、報警、歷史畫面顯示
d) 通過網(wǎng)絡(luò)在PC機(jī)遠(yuǎn)程查看本體畫面
e) 多功能面板按鍵
f) 批處理啟/停記錄,并生成數(shù)據(jù)文件
g) 數(shù)據(jù)安全保證
h) 400MB大內(nèi)存
i) 二進(jìn)制數(shù)據(jù)存儲
j) 網(wǎng)絡(luò)化數(shù)據(jù)冗余
箱體結(jié)構(gòu)
a) 烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱、過濾器及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成
結(jié)構(gòu)合理,外觀美觀大方;
b) 箱體材料:外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑,可防止微塵;
c) 內(nèi)膽材料:采用優(yōu)質(zhì)SUS304鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿 性蘇打水清潔
去油污避免烘烤PARTICLE;