硅片潔凈烘箱,半導(dǎo)體百級潔凈烤箱概述
硅片潔凈烘箱,半導(dǎo)體百級潔凈烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
參數(shù)
主要技術(shù)指標(biāo)
Ø 無塵等級:Class 100;
Ø 溫度均勻度:±2℃;
Ø 溫度波動度:±0.5℃(空載);
Ø 溫控精度:±0.1℃;
Ø 進風(fēng)口:φ6mmN2進氣、流量計控制;
排風(fēng)口: φ3”排風(fēng)管(外接φ5"法蘭);
箱體結(jié)構(gòu)
a) 烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱、過濾器及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成
結(jié)構(gòu)合理,外觀美觀大方;
b) 箱體材料:外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑,可防止微塵;
c) 內(nèi)膽材料:采用優(yōu)質(zhì)SUS304鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿 性蘇打水清潔
去油污避免烘烤PARTICLE;
完善的安全保護措施
漏電斷路器、控制線路保險絲裝置、 超溫防止保護裝置(上限220℃)、 電熱過電流保護裝置、馬達(dá)過電流保護、 反向保護裝置、內(nèi)襯防火材料、機臺異常蜂鳴器、門面安全開關(guān)。