可編程潔凈烘箱，程序無塵烘箱用途及執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn) | ||
制造標(biāo)準(zhǔn) | 本產(chǎn)品是參照GB/T11158-1989，GB2423，2-1989干燥箱技術(shù)條件及國家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)研究制造。 | |
2、產(chǎn)品用途 | 主要應(yīng)用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求。 | |
3、適用行業(yè) | 應(yīng)用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè). | |
可編程潔凈烘箱，程序無塵烘箱技 術(shù) 性 能 參 數(shù) | ||
1、設(shè)備名稱 | 高溫?zé)o塵無氧烤箱 | |
2、設(shè)備型號(hào) | JS-MOA130-1F | |
3、主要技術(shù)參數(shù) | ||
3.1 工作室尺寸 | 450×450×650mm（W×D×H） | |
3.2 材質(zhì) | 外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑，內(nèi)箱采用SUS/304不銹鋼 | |
3.3 溫度范圍 | RT+10-450℃，使用溫度≤380℃ | |
3.4 溫度分辨率 | 0.1℃ | |
3.5 溫度波動(dòng)度 | ＜±1℃ | |
3.6 溫度均勻度 | ≤±2% | |
3.7 潔凈度 | class 100，設(shè)備采用無塵材料，適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境 | |
3.8電源及總功率 | AC 380V±10% / 50HZ 總功率約11.0KW | |
3.9 升溫時(shí)間 | 每分鐘5度，全程平均（空箱測試） | |
3.10降溫時(shí)間 | 降溫方式：水冷+風(fēng)冷，300℃-90℃降溫時(shí)間約為1小時(shí)（空箱測試） | |
3.11氧含量
| 高溫狀態(tài)氧含量：≤ 20ppm +氣源氧含量 | |
3.12 數(shù)據(jù)輸出 | 六通道溫度檢測記錄儀 | |
潔凈烘箱，百級(jí)潔凈烤箱用途:
潔凈烘箱，百級(jí)潔凈烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
潔凈烘箱，百級(jí)潔凈烤箱特點(diǎn)：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100；
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；
3.采平面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；
4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到溫度控制精度。
潔凈烘箱，百級(jí)潔凈烤箱產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：
1.主要技術(shù)指標(biāo)：
無塵等級(jí)：Class 100;
溫度范圍：RT+10～200℃；
溫度均勻度：±2℃;
溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）
溫控精度：±0.1℃;
工作室尺寸：W800×D800×H1000（mm）
電源：380v , 50Hz，20KW
網(wǎng)板：2塊（高度可調(diào)節(jié))
