HMDS烘箱真空泵,HMDS系統(tǒng)用油泵簡介
HMDS烘箱真空泵,HMDS系統(tǒng)用油泵廣泛應(yīng)用于制冷、電子、化工、醫(yī)藥、食品及科研所實驗室的設(shè)備和自動生產(chǎn)線上。先進的設(shè)計理念加工更加合理的加工工藝,使各項性能指標(biāo)都達到了JB/T53017-92一等品標(biāo)準(zhǔn),其性價比在同行業(yè)中。
技術(shù)參數(shù)
型號 | DM2 | DM4 | DM8 | DM15 | |
抽氣速率(L/S) | 2 | 4 | 8 | 15 | |
極限分壓強(Pa) | 氣鎮(zhèn)關(guān) | ≤4×10-2 | ≤4×10-2 | ≤4×10-2 | ≤4×10-2 |
氣鎮(zhèn)開 | ≤8×10-2 | ≤8×10-2 | ≤8×10-2 | ≤8×10-2 | |
極限總壓強(Pa) | 氣鎮(zhèn)關(guān) | ≤5×10-1 | ≤5×10-1 | ≤5×10-1 | ≤5×10-1 |
氣鎮(zhèn)開 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | |
噪聲LP/LW | 52/63 | 54/65 | 58/71 | 59/72 | |
水蒸氣抽除率(L/h) | 360 | 520 | 600 | 1200 | |
進氣口直徑 | DN25ISOKF | DN25ISOKF | DN40ISOKF | DN40ISOKF | |
排氣口直徑 | DN25ISOKF | DN25ISOKF | DN40ISOKF | DN40ISOKF | |
zui高油面工作溫度 | 80 | 85 | 125 | 130 | |
用油量(L) | 1.1 | 1.5 | 3.4 | 4.5 | |
轉(zhuǎn)速r/min | 1400 | 1430 | 1400 | 1420 | |
電動機功率(kw) | 0.37 | 0.55 | 1.1 | 1.5 | |
重量(kg) | 27 | 36 | 60 | 70 | |
外形尺寸(mm) | 510×174×274 | 550×174×274 | 635×236×383 | 695×236×383 |
智能型HMDS烘箱,全自動HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的重要性:
光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。 在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。
智能型HMDS烘箱,全自動HMDS預(yù)處理系統(tǒng)主要技術(shù)性能:
電源電壓:AC 220V±10%/50Hz±2%
輸入功率:2500W
控溫范圍:RT+10℃-250℃
溫度分辨率:0.1℃
溫度波動度:±0.5℃
達到真空度:133Pa(1torr)
工作室尺寸(mm):450*450*450、350*350*350(可自定義)
智能型HMDS烘箱,全自動HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的*性:
預(yù)處理性能更好,更加均勻;效率高,一次可以處理多達4盒的晶片;更加節(jié)省藥液;低液報警、防藥液泄漏等具有很強的安全保護功能;,有可自動吸取添加HMDS功能,智能型的程式設(shè)定,一鍵完成作業(yè)