Tetra-150-LF-PC型 等離子清洗/刻蝕機(jī)
* 真空艙體 W400 mm × H600 mm × D625 mm （150 升） * 分層（zui多到16層） 電極-托盤 * 不銹鋼艙體
* 40KHz 射頻發(fā)生器 * 高效針孔電極 * 2氣路，MFC * 電腦控制 （Windows） * 功率連續(xù)可調(diào) 0-2500W
* 自動阻抗匹配 * 電磁閥保護(hù)，回流油霧不能進(jìn)入艙體 * 規(guī)格：W1000 mm×H2200 mm× D1000 mm
* 電源：AC 380V/50Hz
選裝件
* 13.56 MHz 射頻發(fā)生器 * 2.45 GHz 射頻發(fā)生器 * 旋轉(zhuǎn)圓筒艙體（適用于處理顆粒狀樣品）
詳情參見配件選裝指南
* 40KHz 射頻發(fā)生器 * 高效針孔電極 * 2氣路，MFC * 電腦控制 （Windows） * 功率連續(xù)可調(diào) 0-2500W
* 自動阻抗匹配 * 電磁閥保護(hù)，回流油霧不能進(jìn)入艙體 * 規(guī)格：W1000 mm×H2200 mm× D1000 mm
* 電源：AC 380V/50Hz
選裝件
* 13.56 MHz 射頻發(fā)生器 * 2.45 GHz 射頻發(fā)生器 * 旋轉(zhuǎn)圓筒艙體（適用于處理顆粒狀樣品）
詳情參見配件選裝指南
· 13.56MHz射頻發(fā)生器 · 2.45GHz射頻發(fā)生器 · 半自動控制系統(tǒng) · 全自動控制系統(tǒng) - 操作輕松簡便的控制系統(tǒng) · 計(jì)算機(jī)（PC）控制系統(tǒng)- 操作輕松簡便的控制系統(tǒng)同時可記錄處理的整個過程 · 附加氣體通路 · 自動真空艙門 · 設(shè)備自動門 · 條碼閱讀器 · 偏壓測量系統(tǒng) · 碟型閥 · 排氣過濾系統(tǒng) · 適用于腐蝕性氣體系統(tǒng)
· 艙體托盤可訂做- 適合艙體的*尺寸 · 粉末處理裝置 · 法拉第容器 · 氣體供給系統(tǒng)- 在等離子聚合過程中提供密度均勻的單體 · 玻璃艙體（硅酸鹽或石英）
· 預(yù)熱板 · 等離子測量傳感器- 應(yīng)用在等離子聚合過程和含腐蝕性環(huán)境中 · 真空泵抽氣入口過濾器 · 標(biāo)簽打印機(jī) · 標(biāo)簽閱讀機(jī) · 加深艙體
· 單體瓶- 輕松的控制不穩(wěn)定的液體含量 · 網(wǎng)絡(luò)連接系統(tǒng) · 聚合處理附件 · 氣瓶出氣減壓閥 · 石英玻璃皿 · 卷軸艙體系統(tǒng)- 適用于批量處理薄膜、箔等
· RIE電極（適用于刻蝕） · 旋轉(zhuǎn)艙體系統(tǒng) - 適用于纖維、紡輪、顆粒狀等樣品的均勻、批量處理 · 安全閥
· 服務(wù)條約- 使用易燃、易爆性氣體，例如：氫氣、乙炔…
· 附加的配件
· 特殊的電極和托盤
· 特殊法蘭/附加法蘭
· 特殊軟件
· 特殊真空艙體
· 過程溫度測量
· 測試墨水（用于測試表面接觸角）
· 真空泵系統(tǒng)
