用于基于光纖傳感的真空物理實驗。
可以用于10-3Pa的真空度,同時滿足泄漏率要求。
工作光譜范圍:200-2500nm。有不同單模光纖(3.2/125,4/125,5/125,5.9/125,9/125…)、
多模光纖(50/125,62.5/125,105/125,200/220,400/440,570/600,...)可以選擇。
接口形式SMA905,F(xiàn)C/PC。
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可按用戶要求定制。
北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責任公司的光纖過真空裝置是用來連接真空室內(nèi)的光纖的,如等離子體的監(jiān)控。真空通管包括一個帶Viton型密封圈的M12螺絲和2個SMA光纖接頭,可以方便的和光纖探頭連接(需要額外訂購兩個SMA905光纖適配器)。由多種型號的真空通管與所有芯經(jīng)的光纖匹配,從50um到1000um,而且分別有UV200~1100nm和IR400~2500nm波長型號。
真空通管概述
維意真空提供的光纖過真空裝置可以將光導入或?qū)С稣婵帐?,以進行超高真空的應(yīng)用場合,例如半導體處理的光學監(jiān)測和薄膜吸附的zui終檢測。
在隔空箱中和高壓應(yīng)用場合下有較好的表現(xiàn),真空度高達zui大10 -72 mbar?,操作溫度高達300 °C,真空室壁厚5-40 mm,玻璃或金屬封口光纖使性能表現(xiàn)提高,光纖過真空裝置使用牢固的金屬-玻璃封口膠,在超高真空應(yīng)用場合的表現(xiàn)得到提高。
光纖過真空裝置除了在半導體和薄膜處理方面的應(yīng)用,還是環(huán)境檢測、藥物學處理和光學涂層生產(chǎn)的理想工具。它還可以應(yīng)用在分子束外延和化學物理的蒸汽吸附方面,可以作為配合隔空箱、手套箱和中壓裝置的性能優(yōu)異的通管。
光纖過真空裝置的高壓與低壓面的終端可與SMA905連接器相連接,可以簡單地與光纖、光源、配件共同使用,以及光譜儀等光學設(shè)備。
光纖過真空裝置可以旋入真空樣品室上的一個M12外螺紋的孔,或可以用預(yù)備好的螺帽和墊圈旋入一個光滑的孔。裝配過程非常簡單,只需通過一個SMA905光纖適配器把光纖和光纖過真空通管連接起來即可。在樣品室的低壓面,我們建議用戶選配金屬硬殼的石英光纖配套。
光纖過真空裝置的光纖直徑有50μm、100μm、200μm、400μm、600μm和1000 μm可選;波長可選UV200~1100nm和IR400~2500nm,可選配SMA905或者FC接頭。