1.設(shè)備簡介
?小型磁控濺射鍍膜儀，主要特點(diǎn)是設(shè)備體積小，結(jié)構(gòu)簡單緊湊易于操作，對實(shí)驗(yàn)室供電要求低；該系列設(shè)備主要部件采用進(jìn)口或者優(yōu)的配置，從而提高設(shè)備的穩(wěn)定性；另外自主開發(fā)的智能操作系統(tǒng)在設(shè)備的運(yùn)行重復(fù)性及安全性方面得到更好地保障。 目前該系列有基本型、旗艦型、豪華型、尊享型4種不同配置可供選擇，可以根據(jù)客戶的不同需求進(jìn)行配置，比較靈活；標(biāo)配2只Φ2英寸永磁靶，一臺(tái)500W直流濺射電源，主要用來開發(fā)納米級單層及多層的金屬導(dǎo)電膜、半導(dǎo)體膜以及絕緣膜等。
2.設(shè)備主要優(yōu)勢
????2.1??實(shí)用性：設(shè)備集成度高，結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，可以滿足客戶實(shí)驗(yàn)室空間不足的苛刻條件；通過更換設(shè)備上下法蘭可以實(shí)現(xiàn)磁控與蒸發(fā)功能的轉(zhuǎn)換，實(shí)現(xiàn)一機(jī)多用；
????2.2??方便性：設(shè)備需要拆卸的部分均采用即插即用的方式，接線及安裝調(diào)試簡單，既保證了設(shè)備使用方便又保證了設(shè)備的整潔；
????2.3??高性價(jià)比：設(shè)備主要零部件采用進(jìn)口或國內(nèi)，以國產(chǎn)設(shè)備的價(jià)格擁有進(jìn)口設(shè)備的配置，從而保證了設(shè)備的質(zhì)量及性能；
????2.4??安全性：獨(dú)立開發(fā)的PLC+觸摸屏智能操作系統(tǒng)在傳統(tǒng)操作系統(tǒng)的基礎(chǔ)上新具備了漏氣自檢與提示、通訊故障自檢、保養(yǎng)維護(hù)提示等功能，保證了設(shè)備的使用安全性能；
3.主要技術(shù)參數(shù)
???3.1?腔室尺寸：Ф246×228mm，1Cr18Ni9Ti優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，氬弧焊接；
???3.2?樣品臺(tái)尺寸：Ф75mm，高度：60～120mm可調(diào)，旋轉(zhuǎn)：0-20r/min可調(diào)；
???3.3?真空系統(tǒng)：機(jī)械泵（TRP-12,3L/s）+Pfeiffer分子泵(Hipace80,67L/s)（可選國產(chǎn)分子泵）；GDC-25b電磁擋板閥，DN25mm?限流閥；
???3.4?極限真空：8.0×10-5Pa；
???3.5?真空抽速：大氣～8×10-4Pa?≤?20min；
???3.6?真空測量：全量程復(fù)合真空計(jì)，測量范圍：105Pa～10-5Pa；
???3.7?磁控靶：Φ2英寸2只（含靶擋板），兼容直流電源和射頻電源；
???3.8?濺射電源：直流和射頻可選；
???3.9?質(zhì)量流量計(jì)：20sccm、50sccm質(zhì)量流量控制器各一套；
???3.10控制方式：PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障自檢、保養(yǎng)維護(hù)提示等功能；
???3.11設(shè)備外形：L60cm×W60cm×H96cm機(jī)電一體化機(jī)架，預(yù)留1個(gè)KF40法蘭接口；
???3.12?設(shè)備供電總功率≤2KW，220V，單相三線制（一火一零一地）；
???3.13?冷卻循環(huán)系統(tǒng)：水壓0.2～0.4MPa，水溫10～25℃，給設(shè)備相關(guān)需水冷部件提供穩(wěn)定的制冷水
公司名稱（現(xiàn)用名）：北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司
公司名稱（曾用名）：北京科立方真空技術(shù)應(yīng)用有限公司
覆蓋區(qū)域：北京、天津、河北
北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司，原名北京科立方真空技術(shù)應(yīng)用有限公司，創(chuàng)立于2013年，位于中國·首都北京密云經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)，主體經(jīng)營分為真空配件銷售、真空設(shè)備定制、淺藍(lán)納米科技三個(gè)部分，是北京從事真空產(chǎn)品設(shè)計(jì)、制造、銷售、維修、保養(yǎng)于一體的專業(yè)性的公司，公司擁有一支專業(yè)、優(yōu)秀的產(chǎn)品技術(shù)工程師和維修技術(shù)工程師，具有豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，同時(shí)還與北京工業(yè)大學(xué)聯(lián)合研發(fā)等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)，與北京交通大學(xué)聯(lián)合研發(fā)原子層沉積系統(tǒng)，滿足高校、研究所的教學(xué)、科研使用，同時(shí)減少相關(guān)進(jìn)口設(shè)備的*，并力爭創(chuàng)造外匯，打出中國創(chuàng)造的！
我們的客戶遍布北京各高校和研究院所、電力試驗(yàn)所、各級的材料、物理、化學(xué)、納米等研究領(lǐng)域*的實(shí)驗(yàn)室，期待您就是我們的下一位客戶、朋友！
您的滿意微笑是我們一直努力追求的經(jīng)營目標(biāo)！
技術(shù)創(chuàng)新、業(yè)務(wù)專業(yè)、服務(wù)誠信是我們一直遵循的經(jīng)營理念！
我們熱誠歡迎國內(nèi)外*的儀器制造商及科學(xué)工作者與我們聯(lián)系開展各層面的合作,打造成*的真空系統(tǒng)產(chǎn)品、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)和原子層沉積系統(tǒng)供應(yīng)商。
