晶圓烤箱,超潔凈烤箱簡介:
晶圓烤箱,超潔凈烤箱工作室內(nèi)充滿了惰性氣體N2,防止材料在烘烤時(shí)被氧化。無氧烤箱主要用于:IC包裝,LCD,晶體管,傳感器,二極管,石英晶體振蕩器,混合集成電路板等電子、IC、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門。
技術(shù)參數(shù):
內(nèi)桶:采用SUS304#鏡面不銹鋼板,經(jīng)堿性蘇打水清潔,避免烘烤時(shí)產(chǎn)生灰塵;
中桶:采用SUS304#鏡面不銹鋼板,經(jīng)堿性蘇打水清潔,全氬弧焊焊接密封,避免烘烤時(shí)自身污染;
外部材料:采用SUS304拉絲不銹鋼板制造;
保溫材料:采用國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)超細(xì)玻璃棉,100K級(jí)高密度高保溫材料制造,六面保溫;
潔凈度:100級(jí)、10級(jí)、1000級(jí)
氮?dú)膺M(jìn)氣口:加裝流量計(jì)控制進(jìn)氣量,入氣口:6mm;
排氣口:自動(dòng)啟動(dòng)風(fēng)門,達(dá)到強(qiáng)烈循環(huán)效果而降溫的目的
電源:AC220V/380V 50Hz
溫度均勻度:≤±2.0℃;
溫度范圍:RT+20~300℃,
氧含量:≤500ppm;
內(nèi)尺寸:W710mm ×D 610mm ×H 560mm(可做上下兩箱);
傳感器:采用日制進(jìn)口感溫芯片,不銹鋼外套,輸出被控制元件:SSR固態(tài)繼電器輸出;
溫度控制器:采用多段溫度控制器,數(shù)字設(shè)定,LED顯示,PID自動(dòng)演算,SSR固態(tài)繼電器輸出;
溫度控制器顯示精度: 0.1;
保護(hù)裝置:
超溫防止警報(bào)裝置;
電熱、馬達(dá)過電流保護(hù);
控制回路短路及過載保護(hù);
漏電斷路器;
逆向防止器;
機(jī)臺(tái)異常風(fēng)鳴器;
采用電磁門鎖,附斷電防開門裝置;
三色指示燈:黃色待機(jī),綠色運(yùn)轉(zhuǎn),紅色超溫指示;
配合烘烤流程,控制氮?dú)饧翱諝庵畣㈤],避免氮?dú)饫速M(fèi);