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等離子體增強化學氣象沉積設備

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱北京維意真空技術應用有限責任公司
  • 品       牌
  • 型       號PECVD
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2017/10/17 8:13:36
  • 訪問次數(shù)544
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公司名稱(現(xiàn)用名):北京維意真空技術應用有限責任公司
公司名稱(曾用名):北京科立方真空技術應用有限公司
覆蓋區(qū)域:北京、天津河北

    北京維意真空技術應用有限責任公司,原名北京科立方真空技術應用有限公司,創(chuàng)立于2013年,位于中國·首都北京密云經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū),主體經(jīng)營分為真空配件銷售、真空設備定制、淺藍納米科技三個部分,是北京從事真空產(chǎn)品設計、制造、銷售、維修、保養(yǎng)于一體的專業(yè)性的公司,公司擁有一支專業(yè)、優(yōu)秀的產(chǎn)品技術工程師和維修技術工程師,具有豐富的行業(yè)經(jīng)驗,同時還與北京工業(yè)大學聯(lián)合研發(fā)等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng),與北京交通大學聯(lián)合研發(fā)原子層沉積系統(tǒng),滿足高校、研究所的教學、科研使用,同時減少相關進口設備的*,并力爭創(chuàng)造外匯,打出中國創(chuàng)造的!  

    我們的客戶遍布北京各高校研究院所、電力試驗所、各級的材料、物理、化學、納米等研究領域*的實驗室,期待您就是我們的下一位客戶、朋友!

    您的滿意微笑是我們一直努力追求經(jīng)營目標!

技術創(chuàng)新、業(yè)務專業(yè)、服務誠信是我們一直遵循的經(jīng)營理念!

 

我們熱誠歡迎國內(nèi)外*的儀器制造商及科學工作者與我們聯(lián)系開展各層面的合作,打造成*的真空系統(tǒng)產(chǎn)品、等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)和原子層沉積系統(tǒng)供應商。

ALD設備,PECVD設備
PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學反應,從而實現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術。通過反應氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應特征,從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點,工藝流程簡單。主要適應于現(xiàn)代半
等離子體增強化學氣象沉積設備 產(chǎn)品信息

 

PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學反應,從而實現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術。通過反應氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應特征,從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點,工藝流程簡單。主要適應于現(xiàn)代半導體行業(yè)。

  • 輝光放電:在系統(tǒng)低于100Pa啟動射頻電源可以實現(xiàn)輝光放電。
  • 加熱:系統(tǒng)可以設置30段溫控程序,彩屏系統(tǒng)預存15條燒培曲線,針對不同的樣品,設置不同的預設曲線,避免重復設置。
  • 自動清洗功能:樣品放入線圈的區(qū)域,配置好參數(shù),系統(tǒng)會自動抽真空,并通入設置的氣體,自動啟動輝光放點。
  • 自動cvd功能:樣品放入線圈的區(qū)域,配置好參數(shù),系統(tǒng)會自動抽真空,并通入設置的氣體,自動啟動輝光放點。
  • 智能能模式:實現(xiàn)自動清洗和cvd功能,樣品不需移出,清洗cvd功能一鍵完成,并能實現(xiàn)多次的循環(huán)操作。
  • 通氣時間可以設定:通過界面設置通氣時間,時間到后,系統(tǒng)自動停止流量計,達到節(jié)能環(huán)保的目的。
  • 恒定真空控制:系統(tǒng)設置一個真空度的數(shù)值配合手動閥和真空泵,系統(tǒng)能實現(xiàn)真空的恒定。
  • 系統(tǒng)微正壓控制:系統(tǒng)設置一個正壓值,并配置好相應的氣路,配合手動放氣閥,可以實現(xiàn)系統(tǒng)微正壓的恒定;
  • 系統(tǒng)正壓保護功能:當因為誤操作或者其他原因,系統(tǒng)壓力超過保護值時,系統(tǒng)會自動關閉進氣,保護設備。
  • 加熱爐膛移動的速度可以調(diào)節(jié)。
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