美國ist(integrated surface technologies)公司 repellix 原子沉積表面改性(親水、超疏水、防水設(shè)備)
——美國ist公司為pva tepla的戰(zhàn)略合作公司
型號:rpx-210, rpx-540, rpx-560
典型應(yīng)用:
表面改性(微流控芯片管道表面改性)
mems表面抗粘合層(提高mems器件的抗摩擦性)
半導(dǎo)體制造和封裝涂層
dna微陣列
生物兼容性改性
親水 μ流體薄膜
疏水保護(hù)薄膜()
提高表面粘附性
無機(jī)氧化物原子沉積
控制:
pc精密控制,形成單分子層,可設(shè)置連續(xù)或交替進(jìn)行。
靈活的控制系統(tǒng),允許自行設(shè)計工藝,形成特色納米結(jié)構(gòu)。
同一設(shè)備更換不同單體可完成不同工藝。
優(yōu)勢:
靈活的工藝步驟
自然沉積,均勻性*
重復(fù)性好
低成本
適用大批量生產(chǎn)
配置:
腔體大?。?17.5×243.84×254 mm
運(yùn)行真空度:10 torr(100℃)
腔室溫度:85℃
設(shè)備大?。?016×965.2×914.4 mm
回充氣體:n2 或cda (5.5 bar)
pc控制
多達(dá)32,000可編程步驟