CT-W廢氣處理設(shè)備系統(tǒng)描述 :此系統(tǒng)專門設(shè)計(jì)來(lái)有效地處理 HCl、HF、SiH2Cl2、SiCl4、NH3以及其他酸性以及堿性氣體的排放,且同時(shí) 維持低運(yùn)行成本。根據(jù)需要處理氣體種類的不同,CT-W可使用酸性或堿性中和劑。水洗器配備高效的逆流噴 嘴,為高流量廢氣的應(yīng)用提供高可靠性。CT-W提供了多達(dá)4個(gè)獨(dú)立的進(jìn)氣口,該進(jìn)氣口可以連接至高達(dá) 3,000 slm廢氣總流量的大氣壓力或大氣壓力以下的反應(yīng)腔。 其他的優(yōu)勢(shì)還包含:*的N2氣體文丘里(正規(guī))、水式文丘里(非正規(guī))、機(jī)械式廢氣進(jìn)口清潔裝置、取 決于廢氣負(fù)荷量的純水加藥、以及加熱進(jìn)口(選配)。所有的這些特色都是為了確保低維護(hù)需求和低運(yùn)行成 本(尤其是針對(duì)像AlCl3和NH4Cl這類往往過(guò)一段時(shí)間便會(huì)阻塞進(jìn)口的氣體)。
機(jī)械式廢氣進(jìn)口清潔裝置