廢氣處理設(shè)備CT-W水洗系統(tǒng)概述:
在處理各種化學(xué)氣相沉積和蝕刻工藝所排出的廢氣方面,水洗系統(tǒng)已被證明是有效解決方案。比起常見的水洗系統(tǒng)。centrotherm clean solutions 的水洗系統(tǒng)CT-W具有許多優(yōu)勢(shì)。CT-W能夠降低廢氣中99%的粉塵顆粒。經(jīng)吸附的粉塵顆粒將隨著廢水排出。
CT-W可以作為獨(dú)立的系統(tǒng)來安裝,亦可在我們的燃燒-水洗系統(tǒng)CT-BW中作為附件模塊。CT-W水洗系統(tǒng)可以獨(dú)立地運(yùn)作,也可以嵌入CT-BW.例如強(qiáng)酸或粉塵諾要符合德國(guó)大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)(TA-Luft),那么額外的水洗階段是非常必要的。當(dāng)水洗系統(tǒng)置于CT-BW后時(shí),粉塵的降低率和酸氣的吸附率一般超過99.9%。