PUR-TX 高純氣露點變送器 / 在線露點儀
在很多超純氣應用,諸如半導體工業(yè)中,氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關重要。一直以來,對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點,需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經(jīng)濟的、相當有效的方案,用來在線測量露點值,下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppbV)。 Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗,結合標準工業(yè)化的材料和制造流程,打造出的*適用于半導體制造行業(yè)和超純氣體應用的低價位變送器。
亮點 · 測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV 1/10億) · 測量穩(wěn)定,重復性好 · 高度集成的采樣裝置 · 模擬和數(shù)字輸出 · 安裝簡便 · VCR 過程接口 · 設計緊湊小巧 · 顯示/報警單元可選 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
技術指標 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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